半導体製造装置業界 開発業務の中で78件の特許を取得しています。以下に主要な具体例を提示します。
| 公開登録番号 | 区分 | タイトル |
| CN-A-104752279 | Cleaner | 装置構成 |
| CN-A-102054664 | Cleaner | 環境制御 |
| CN-A-001815368 | Cleaner | 装置system制御 |
| CN-A-001808274 | Track | 装置構成 |
| 特開2003-332330 | Track | 装置構成 |
| 特開2003-324065 | Track | 装置構成 |
| 特開2003-264164 | Track | 装置構成 |
| 特開2002-237514 | Track | Load port |
| 特開2002-202554 | Track | 装置構成 |
| 特開2002-164210 | Track | 装置構成 |
| 特開2001-230201 | Track | Bake unit構成 |
| 特開2001-230191 | Track | Spin unit 薬液供給システム |
| 特開2001-189369 | Track | 環境制御 |
| 特開2001-189368 | Track | 装置構成 |
| 特開2001-176779 | Track | 環境制御 |
| 特開2001-144011 | Track | 環境制御 |
| 特開2001-155598 | Track | 環境制御 |
| 特開2001-168167 | Track | 装置構成 |
| 特開2001-168009 | Track | 装置構成 |
| 特開2001-168004 | Track | 装置構成 |
| 特開2001-155192 | Track | 装置構成 |
| 特開2001-155191 | Track | 装置構成 |
| 特開2001-118782 | Track | 装置構成 |
| 特開2001-093872 | Track | 環境制御 |
| 特開2001-044119 | Track | 環境制御 |
| 特開2001-057335 | Track | 環境制御 |
| 特開2001-077176 | Track | Wafer搬送制御 |
| 特開2001-077019 | Track | 装置構成 |
| 特開2001-093826 | Track | 装置構成 |
| 特開2001-068525 | Track | wafer搬送unit構成 |
| 特開2000-124124 | Track | 装置構成 |
| 特開2000-306973 | Track | 装置内監視 |
| 特開2000-138162 | Track | カセットストッカー構成 |
| 特開2000-124301 | Track | カセットストッカー構成 |
| 特開2000-100718 | Track | カセットストッカー構成 |
| 特開2000-091226 | Track | IFB内Buffer温調 |
| 特開2000-082735 | Track | CSBピックアップカセット運用 |
| 特開2000-012443 | Track | 装置構成 |
| 特開平11-354605 | Track | Wafer搬送 アライメント付きハンド |
| 特開平11-330198 | Track | Wafer搬送 アライメント付きハンド |
| 特開平11-054428 | Track | 処理unitでの搬送アクセス制御 |
| 特開平10-150089 | Track | IFB ステージ構成 |
| 特開平08-111447 | Track | wafer搬送ハンド構成 |